金融界2025年8月19日消息，国家知识信息显示，伊利诺斯工具制品有限公司申请一项名为“流量比控制器以及利用其的气体分配系统”的，公开号CN120508146A，申请日期为2025年02月控制器。
摘要显示，所公开的示例流量比控制器包括：入口，该入口被配置为接收输入处理气体流；入口压力传感器，该入口压力传感器被配置为测量入口压力；第一出口和第二出口，该第一出口和该第二出口被配置为将输入处理气体流的第一部分和第二部分输出；第一流量阀和第二流量阀，该第一流量阀和该第二流量阀被配置为控制输入处理气体到第一出口和第二出口的流量；第一位置传感器和第二位置传感器，该第一位置传感器和该第二位置传感器被配置为测量第一流量阀和第二流量阀的阀位置；第一出口压力传感器和第二出口压力传感器，该第一出口压力传感器和该第二出口压力传感器被配置为测量第一出口和第二出口的出口压力；以及控制电路系统，该控制电路系统被配置为使用阀流量模型并基于第一出口和第二出口的预定流量比、入口压力、第一阀位置和第二阀位置、以及第一出口压力和第二出口压力来控制第一流量阀和第二流量阀控制器。
来源：金融界